Substrat MgF2
Descriere
MgF2 este folosit ca lentilă, prismă și fereastră pentru lungimi de undă de la 110 nm la 7,5 μm.Este cel mai potrivit material ca fereastra pentru ArF Excimer Laser, din cauza transmisiei sale bune la 193nm.De asemenea, este eficient ca polarizare optică în regiunea ultravioletă.
Proprietăți
| Densitate (g/cm).3） | 3.18 |
| Punct de topire (℃) | 1255 |
| Conductivitate termică | 0,3 Wm-1K-1 la 300K |
| Expansiune termică | 13,7 x 10-6 /℃ axa c paralelă 8,9 x 10-6 /℃ axa c perpendiculară |
| Duritatea Knoop | 415 cu indentor de 100 g (kg/mm2) |
| Capacitate termică specifică | 1003 J/(kg.k) |
| Constantă dielectrică | 1,87 la axa c paralelă de 1 MHz 1,45 la 1MHz axa c perpendiculară |
| Modulul Youngs (E) | 138,5 GPa |
| Modulul de forfecare (G) | 54,66 GPa |
| Modul în vrac (K) | 101,32 GPa |
| Coeficientul elastic | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Limită elastică aparentă | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Raportul Poisson | 0,276 |
Definiția substratului MgF2
Substratul MgF2 se referă la un substrat format din material cristalin de fluorură de magneziu (MgF2).MgF2 este un compus anorganic compus din elemente de magneziu (Mg) și fluor (F).
Substraturile MgF2 au câteva proprietăți notabile care le fac populare într-o varietate de aplicații, în special în domeniul opticii și al depunerii de pelicule subțiri:
1. Transparență ridicată: MgF2 are o transparență excelentă în regiunile ultraviolete (UV), vizibile și infraroșii (IR) ale spectrului electromagnetic.Are o gamă largă de transmisie de la ultraviolete la aproximativ 115 nm la infraroșu la aproximativ 7500 nm.
2. Indice scăzut de refracție: MgF2 are un indice de refracție relativ scăzut, ceea ce îl face un material ideal pentru acoperiri și optică AR, deoarece minimizează reflexiile nedorite și îmbunătățește transmisia luminii.
3. Absorbție scăzută: MgF2 prezintă o absorbție scăzută în regiunile spectrale ultraviolete și vizibile.Această proprietate îl face util în aplicațiile care necesită o claritate optică ridicată, cum ar fi lentile, prisme și ferestre pentru raze ultraviolete sau vizibile.
4. Stabilitate chimică: MgF2 este stabil din punct de vedere chimic, rezistent la o gamă largă de substanțe chimice și își menține proprietățile optice și fizice într-o gamă largă de condiții de mediu.
5. Stabilitate termică: MgF2 are un punct de topire ridicat și poate rezista la temperaturi ridicate de lucru fără degradare semnificativă.
Substraturile MgF2 sunt utilizate în mod obișnuit în acoperiri optice, procese de depunere a filmelor subțiri și ferestre sau lentile optice în diferite dispozitive și sisteme.Ele pot servi, de asemenea, ca straturi tampon sau șabloane pentru creșterea altor filme subțiri, cum ar fi materiale semiconductoare sau acoperiri metalice.
Aceste substraturi sunt produse în mod obișnuit folosind tehnici precum depunerea de vapori sau metodele de transport fizic al vaporilor, în care materialul MgF2 este depus pe un material substrat adecvat sau crescut ca un singur cristal.În funcție de cerințele aplicației, substraturile pot fi sub formă de napolitane, plăci sau forme personalizate.
